Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen

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Authors and Corporations:	Wank, Andreas, Wielage, Bernhard, Wilden, Johannes, Steffens, Hans-Dieter, Lang, Heinrich
Title:	Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
Dissertation Note:	Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2002
Type of Resource:	E-Book Thesis
Language:	German
published:	Online-Ausg.. 2002
Series:	Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen; Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen ; Band 10
Subjects:	Thermisches Plasma Schichtsynthese Plasmajet Cvd Triple Torch Dc Plasma Flüssige Precursoren Sic Si3N4 Prozessdiagnostik Enthalpiesonde Emissionsspektroskopie Hochschulschrift
Source:	Qucosa

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