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Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
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Titel: | Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen |
Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2002 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2002
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Gesamtaufnahme: |
Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen; Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen ; Band 10 |
Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |