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Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Wank, Andreas, Wielage, Bernhard, Wilden, Johannes, Steffens, Hans-Dieter, Lang, Heinrich
Titel: Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2002
Format: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
Online-Ausg.. 2002
Gesamtaufnahme: Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen; Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen ; Band 10
Schlagwörter:
Sic
Quelle: Qucosa