Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen

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Personen und Körperschaften:	Wank, Andreas, Wielage, Bernhard, Wilden, Johannes, Steffens, Hans-Dieter, Lang, Heinrich
Titel:	Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen
Hochschulschriftenvermerk:	Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2002
Format:	E-Book Hochschulschrift
Sprache:	Deutsch
veröffentlicht:	Online-Ausg.. 2002
Gesamtaufnahme:	Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen; Schriftenreihe Werkstoffe und Werkstofftechnische Anwendungen ; Band 10
Schlagwörter:	Thermisches Plasma Schichtsynthese Plasmajet Cvd Triple Torch Dc Plasma Flüssige Precursoren Sic Si3N4 Prozessdiagnostik Enthalpiesonde Emissionsspektroskopie Hochschulschrift
Quelle:	Qucosa


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