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Wank, A., Wielage, B., Wilden, J., Steffens, H., & Lang, H. Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen.

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Hochratesynthese von Hartstoffschichten auf Siliciumbasis mittels thermischer Plasmen

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Wank, Andreas, et al. Hochratesynthese Von Hartstoffschichten Auf Siliciumbasis Mittels Thermischer Plasmen.

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