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Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik

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Authors and Corporations: Gronau, Magdala (Editor), Hafkesbrink, Joachim (Other)
Title: Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik/ Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ...
Type of Resource: Book
Language: German
published:
Düsseldorf VDI-Verlag 1993
Series: Mikro- und Nanotechnik
Subjects:
Source: Verbunddaten SWB
Topics
RVK Notation:
ZS 4000
  • Handwerk, Feinwerktechnik, Holztechnik, Papiertechnik, Textiltechnik und sonstige Technik
    • Feinwerktechnik, feinmechanisches Gewerbe
      • Allgemeines
ZN 4100
  • Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
    • Technologie elektronischer Funktionseinheiten
      • Allgemeines
ZN 4980
  • Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
    • Integrierte Schaltungen. Mikroelektronik (IC; IS)
      • Mikrocontroller, Signalprozessoren
ZN 3750
  • Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
    • Elektromechanik und Mikromechanik
      • Mikrosystemtechnik
Subjects: