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Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik
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Personen und Körperschaften: | , |
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Titel: | Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik/ Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ... |
Format: | Buch |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI-Verlag
1993
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Gesamtaufnahme: |
Mikro- und Nanotechnik |
Schlagwörter: | |
Quelle: | Verbunddaten SWB |
Beschreibung: | Literaturverz. S. 203 - 208 |
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Umfang: | XVII, 221 S; Ill., graph. Darst |
ISBN: |
3184013219
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