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Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromech...

Bibliographic Details
Authors and Corporations: Gronau, Magdala (Editor), Hafkesbrink, Joachim (Other)
Title: Technologien für Mikrosysteme Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ...
Type of Resource: Book
Language: German
published:
Düsseldorf VDI-Verl. 1993
Series: Mikro- und Nanotechnik
Subjects:
Source: Verbunddaten SWB

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