Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik

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Personen und Körperschaften:	Gronau, Magdala (HerausgeberIn), Hafkesbrink, Joachim (Sonstige)
Titel:	Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik/ Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ...
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
veröffentlicht:	Düsseldorf VDI-Verlag 1993
Gesamtaufnahme:	Mikro- und Nanotechnik
Schlagwörter:	Technology indicators Micromechanics Microelectronics Miniature electronic equipment Electronic industries > Technological innovations
Quelle:	Verbunddaten SWB

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