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Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Gronau, Magdala (HerausgeberIn), Hafkesbrink, Joachim (Sonstige)
Titel: Technologien für Mikrosysteme: Stand und Entwicklung ; integrierte Optik, Schichttechniken, Mikromechanik, Halbleitertechniken, Faseroptik/ Magdala Gronau (Hrsg.). Joachim Hafkesbrink ...
Format: Buch
Sprache: Deutsch
veröffentlicht:
Düsseldorf VDI-Verlag 1993
Gesamtaufnahme: Mikro- und Nanotechnik
Schlagwörter:
Technology indicators
Micromechanics
Microelectronics
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