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Influence of Substrate Bias Voltage on the Properties of Sputtered Aluminum-Scandium Thin Sheets
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Journal of Surface Engineered Materials and Advanced Technology, 2, 2012, 2, S. 115-119 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
Scientific Research Publishing, Inc.
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Schlagwörter: |
Umfang: | 115-119 |
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ISSN: |
2161-4881
2161-489X |
DOI: | 10.4236/jsemat.2012.22018 |