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A TiNiCu Thin Film Micropump Made by Magnetron Co-Sputtered Method
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | MATERIALS TRANSACTIONS |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | MATERIALS TRANSACTIONS, 47, 2006, 3, S. 532-535 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Japan Institute of Metals
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Schlagwörter: |
Umfang: | 532-535 |
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ISSN: |
1345-9678
1347-5320 |
DOI: | 10.2320/matertrans.47.532 |