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Nanoimprint lithography: principles, processes and materials

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Lan, Hongbo (VerfasserIn), Ding, Yucheng (VerfasserIn), Liu, Hongzhong (VerfasserIn)
Titel: Nanoimprint lithography: principles, processes and materials/ Hongbo Lan, Yucheng Ding and Hongzhong Liu
Format: Buch Bibliografie
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
[Hauppauge], NY Nova Science Publishers c 2011
Gesamtaufnahme: Nanotechnology science and technology
Schlagwörter:
Nanolithography
Nanoelectronics
Microlithography
Nanostructures
Bibliografie
Quelle: Verbunddaten SWB
Details
Zusammenfassung: Principle and fundamental process for NIL -- Variations of NIL processes -- NIL materials -- Prospects and challenges in NIL
Beschreibung: Includes bibliographical references (p. [61]-68) and index
Umfang: VIII, 73 S.; Ill; 23 cm
ISBN: 9781611225013
1611225019