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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
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| Titel: | MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme/ von Markus Glück |
| Format: | E-Book |
| Sprache: | Deutsch |
| veröffentlicht: |
Wiesbaden
Vieweg+Teubner Verlag
2005
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| Gesamtaufnahme: |
SpringerLink Springer eBook Collection |
| Schlagwörter: | |
| Druckausg.: | Glück, Markus, 1969 - , MEMS in der Mikrosystemtechnik, 1. Aufl., Wiesbaden : Teubner, 2005, 212 S. |
| Quelle: | Verbunddaten SWB |