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MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme; mit 6 Tabellen
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
|---|---|
| Titel: | MEMS in der Mikrosystemtechnik: Aufbau, Wirkprinzipien, Herstellung und Praxiseinsatz mikroelektromechanischer Schaltungen und Sensorsysteme; mit 6 Tabellen/ Markus Glück |
| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| veröffentlicht: |
Wiesbaden
Teubner
2005
|
| Gesamtaufnahme: |
Lehrbuch Elektrotechnik |
| Schlagwörter: | |
| Online-Ausg.: | Glück, Markus, MEMS in der Mikrosystemtechnik, Wiesbaden : Vieweg+Teubner Verlag, 2005, Online-Ressource (212 S, online resource) |
| Quelle: | Verbunddaten SWB |
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Hauptbibliothek
| Verfügbar |
Freihand
Signatur: ZN 3750 G567
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