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Study of the Nitrogen-Beam Irradiation Effects on ALD-ZnO Films
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of the Korean Vacuum Society |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Journal of the Korean Vacuum Society, 18, 2009, 5, S. 384-389 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Korean Vacuum Society
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Schlagwörter: |