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A high-speed electromagnetically-actuated scanner for dual-stage nanopositioning
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | IFAC Proceedings Volumes |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | IFAC Proceedings Volumes, 46, 2013, 5, S. 125-130 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |
Umfang: | 125-130 |
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ISSN: |
1474-6670
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DOI: | 10.3182/20130410-3-cn-2034.00082 |