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High-Precision Combinatorial Deposition of Micro Particle Patterns on a Microelectronic Chip
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Aerosol Science and Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , , , , , , , |
In: | Aerosol Science and Technology, 45, 2011, 1, S. 65-74 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Informa UK Limited
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Schlagwörter: |