System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften:	Dreiss, Philipp (VerfasserIn)
Titel:	System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung/ Philipp Dreiss
Hochschulschriftenvermerk:	Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2007
Format:	E-Book Hochschulschrift
Sprache:	Deutsch
veröffentlicht:	Heimsheim Jost-Jetter 2007 Online-Ausg.. Stuttgart Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart [2008]
Gesamtaufnahme:	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung: IPA-IAO-Forschung und Praxis ; 467
Schlagwörter:	Anlagenbau Halbleiter Fertigung Hochschulschrift
Druckausg.:	Dreiss, Philipp, System für die modellbasierte Integration von Anlagen in die Halbleiterfertigung, Heimsheim : Jost-Jetter, 2007, 147 S.
Quelle:	Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen