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Hoffmann, M. [2020]. Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung. Berlin: VDE Verlag GmbH.

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Mikro-Nano-Integration : Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung / Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum . — Berlin : VDE Verlag GmbH, [2020]. — 1 CD-ROM; 12 cm. — (GMM-Fachbericht ; 97). — ISBN 9783800753260, 380075326X

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Hoffmann, Martin. Mikro-Nano-Integration: Beiträge Des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung.Berlin: VDE Verlag GmbH, [2020].

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