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Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung

Bibliographic Details
Authors and Corporations: Hoffmann, Martin (Editor), GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online (Author), VDE Verlag (Publisher), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Issuing body), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" (Organizer)
Title: Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Type of Resource: CD-ROM Conference Proceedings
Language: German, English
published:
Berlin, Offenbach VDE Verlag GmbH [2020]
Series: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97
Subjects:
Source: Verbunddaten SWB
Notes: Text teilweise englische, teilweise deutsch

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