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Development of magnetron sputtering system for Al thin film decomposition with high uniformity
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of the Korean Vacuum Society |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of the Korean Vacuum Society, 17, 2008, 2, S. 165-169 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Korean Vacuum Society
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Schlagwörter: |