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ZnO thin film deposition at low temperature using ALD
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of the Korean Vacuum Society |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | Journal of the Korean Vacuum Society, 16, 2007, 3, S. 205-209 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
The Korean Vacuum Society
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Schlagwörter: |