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Westsächsische Hochschule Zwickau
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Magnetron Sputtered AlN Layers...
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Online-Ressource
Magnetron Sputtered AlN Layers on LTCC Multilayer and Silicon Substrates
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Zeitschriftentitel:
Coatings
Personen und Körperschaften:
Bartsch, Heike
,
Grieseler, Rolf
,
Mánuel, Jose
,
Pezoldt, Jörg
,
Müller, Jens
In:
Coatings
, 8, 2018, 8, S. 289
Format:
E-Article
Sprache:
Englisch
veröffentlicht:
MDPI AG
Schlagwörter:
Materials Chemistry
Surfaces, Coatings and Films
Surfaces and Interfaces
Exemplare
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Details
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Online
http://dx.doi.org/10.3390/coatings8080289
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