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Quantitative Evaluation of the Change in Outgassing from a Turbomolecular Pump in the Case of Tandem Operation.
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | SHINKU |
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Personen und Körperschaften: | |
In: | SHINKU, 40, 1997, 10, S. 761-766 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Vacuum Society of Japan
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Schlagwörter: |