Eintrag weiter verarbeiten
Quantitative Evaluation of Outgassing from Turbomolecular Pumps. (2). Experimental Results.
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | SHINKU |
---|---|
Personen und Körperschaften: | |
In: | SHINKU, 40, 1997, 1, S. 28-36 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
The Vacuum Society of Japan
|
Schlagwörter: |