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Effect on Silicon Nitride thin Films Properties at Various Powers of RF Magnetron Sputtering
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | International Journal of Engineering & Technology |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | International Journal of Engineering & Technology, 7, 2018, 4.30, S. 39 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
Science Publishing Corporation
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Schlagwörter: |