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High-dynamic-range areal profilometry using an imaging, dispersion-encoded low-coherence interferometer
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Optics Express |
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Personen und Körperschaften: | , , , , |
In: | Optics Express, 28, 2020, 12, S. 17320 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Optica Publishing Group
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Schlagwörter: |