SHINANO, Y.(2013). Optimizing Movement Sequences for Step-and-Scan Lithography Equipment. Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, 7(4), 608-618. doi:10.1299/jamdsm.7.608
MLA ZitierstilSHINANO, Yuji. "Optimizing Movement Sequences for Step-and-Scan Lithography Equipment". Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, 7.4 ( 2013 ): 608-618.
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