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Preliminary Study on Chemical Figuring and Finishing of Sintered SiC Substrate Using Atmospheric Pressure Plasma
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Procedia CIRP |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Procedia CIRP, 3, 2012, S. 335-339 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Elsevier BV
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Schlagwörter: |