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Effects of deposition parameters on the structure and properties of ZrN, WN and ZrWN films
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Bulletin of Materials Science |
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Personen und Körperschaften: | , , , , , |
In: | Bulletin of Materials Science, 42, 2019, 1 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Springer Science and Business Media LLC
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Schlagwörter: |