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Influence of plasma condition on carbon nanotube growth by rf-PECVD
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Nano-Micro Letters |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Nano-Micro Letters, 2, 2010, 1, S. 37-41 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Englisch |
veröffentlicht: |
Springer Science and Business Media LLC
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Schlagwörter: |