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Effects of magnetic flux density and substrate temperature on Ni films prepared by means of unbalanced magnetron sputtering assisted by inductively coupled plasma
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics: Conference Series |
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Personen und Körperschaften: | , , , |
In: | Journal of Physics: Conference Series, 417, 2013, S. 012035 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |