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A novel and simple fabrication method of embedded SU-8 micro channels by direct UV lithography
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics: Conference Series |
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Personen und Körperschaften: | , , |
In: | Journal of Physics: Conference Series, 34, 2006, S. 330-335 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |