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A modified capacitance model of shunt micro switch based on MEMS technology in actuation mode: simulation and analytical study
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | Journal of Physics: Conference Series |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | Journal of Physics: Conference Series, 1432, 2020, 1, S. 012007 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
IOP Publishing
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Schlagwörter: |