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Surface treatment by the ion flow from electron beam generated plasma in the forevacuum pressure range
Gespeichert in:
Zeitschriftentitel: | MATEC Web of Conferences |
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Personen und Körperschaften: | , |
In: | MATEC Web of Conferences, 143, 2018, S. 03008 |
Format: | E-Article |
Sprache: | Unbestimmt |
veröffentlicht: |
EDP Sciences
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Schlagwörter: |