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Multiscale Simulation of Metallic Copper and Copper Oxide Atomic Layer Deposition from Cu Beta-diketonates: Multiskalensimulation der Atomlagenabscheidung von metallischem Kupfer u...
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| Personen und Körperschaften: | , , , |
|---|---|
| Titel: | Multiscale Simulation of Metallic Copper and Copper Oxide Atomic Layer Deposition from Cu Beta-diketonates: Multiskalensimulation der Atomlagenabscheidung von metallischem Kupfer und Kupferoxid aus Cu Beta-Diketonate |
| Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, 2016 |
| Format: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
Chemnitz
Universitätsverlag der Technischen Universität Chemnitz
2018
Online-Ausg.. 2018 |
| Schlagwörter: | |
| Quelle: | Qucosa |