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Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstums...
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Personen und Körperschaften: | , , , |
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Titel: | Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstumsregimes |
Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Dresden, 2011 |
Format: | E-Book Hochschulschrift |
Sprache: | Deutsch |
veröffentlicht: |
Online-Ausg..
2012
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Schlagwörter: | |
Quelle: | Qucosa |