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System-level modeling of MEMS

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Bechtold, Tamara (HerausgeberIn), Schrag, Gabriele (Sonstige), Feng, Lihong (Sonstige)
Titel: System-level modeling of MEMS/ ed. by Tamara Bechtold ...
Format: Buch
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Weinheim Wiley-VCH-Verl. c 2013
Gesamtaufnahme: Advanced micro & nanosystems ; 10
Schlagwörter:
Online-Ausg.: System-level modeling of MEMS, Weinheim : Wiley-VCH, 2013, Online-Ressource
Quelle: Verbunddaten SWB
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