Microsystem in LTCC technology for measurements of gas concentration in a sub-ppm range

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Veröffentlicht in:	Procedia engineering 5(2010), Seite 1244-1247
Personen und Körperschaften:	Pisarkiewicz, Tadeusz (Sonstige), Maziarz, Wojciech (Sonstige), Rydosz, Artur (Sonstige), Müller, Jens (Sonstige), Mach, Matthias (Sonstige)
Titel:	Microsystem in LTCC technology for measurements of gas concentration in a sub-ppm range/ Tadeusz Pisarkiewicz; Wojciech Maziarz; Artur Rydosz; Jens Mueller; Matthias Mach
Format:	E-Book-Kapitel
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	2010
Gesamtaufnahme:	: Procedia engineering, 5(2010), Seite 1244-1247 , volume:5
Quelle:	Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen

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