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Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung

Saved in:

Authors and Corporations: Sturm, Roland (Author)
Title: Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung/ Roland Sturm
Dissertation Note: Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2006
Type of Resource: E-Book Thesis
Language: German
published:
Heimsheim Jost-Jetter-Verl. 2006
Online-Ausg.. Stuttgart Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart [2007]
Series: Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung: IPA-IAO-Forschung und Praxis ; 450
Subjects:
Druckausg.: Sturm, Roland, Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung, Heimsheim : Jost-Jetter-Verl., 2006, 171 S.
Source: Verbunddaten SWB
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