Grundlegende Ansätze zur Modellierung und Simulation von Beschichtungsprozessen am Beispiel von PVD-Kupfer

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Personen und Körperschaften:	Gottwald, Bernhard (VerfasserIn)
Titel:	Grundlegende Ansätze zur Modellierung und Simulation von Beschichtungsprozessen am Beispiel von PVD-Kupfer/ Bernhard Gottwald
Hochschulschriftenvermerk:	Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2006
Format:	E-Book Hochschulschrift
Sprache:	Deutsch
veröffentlicht:	Heimsheim Jost-Jetter-Verl. 2006 Online-Ausg.. Stuttgart Universitätsbibliothek der Universität Stuttgart 2006
Gesamtaufnahme:	Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung: IPA-IAO-Forschung und Praxis ; 447
Schlagwörter:	Hochschulschrift
Druckausg.:	Gottwald, Bernhard, Grundlegende Ansätze zur Modellierung und Simulation von Beschichtungsprozessen am Beispiel von PVD-Kupfer, Heimsheim : Jost-Jetter-Verl., 2006, 212 S
Quelle:	Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen