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Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
|---|---|
| Titel: | Micro process engineering: fundamentals, devices, fabrication, and applications/ vol. ed. Norbert Kockmann |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
Weinheim
Wiley-VCH
2006
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| Gesamtaufnahme: |
Advanced micro & nanosystems ; 5
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| Schlagwörter: | |
| Digitalisierte Ausg.: | Micro process engineering, [Chichester] : [John Wiley [distributor], 2006, 1 Online-Ressource (xxii, 507 pages) |
| Erscheint auch als: | Micro process engineering, Weinheim : Wiley-VCH, 2006, Online-Ressource (Text + Images) |
| Quelle: | Verbunddaten SWB |
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