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Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures ; with 75 tables
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
|---|---|
| Titel: | Shape and functional elements of the bulk silicon microtechnique: a manual of wet-etched silicon structures ; with 75 tables/ Joachim Frühauf |
| Format: | Buch |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
Berlin, Heidelberg [u.a.]
Springer
2005
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| Schlagwörter: | |
| Erscheint auch als: | Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, Berlin, Heidelberg : Springer Berlin Heidelberg, 2005, Online-Ressource (XII, 221 p. 165 illus, digital) |
| Online-Ausg.: | Frühauf, Joachim, Shape and Functional Elements of the Bulk Silicon Microtechnique, Berlin, Heidelberg : Springer-Verlag Berlin Heidelberg, 2005, Online-Ressource |
| Quelle: | Verbunddaten SWB |
Online
Einführung/VorwortInhaltsverzeichnis
Publisher description, Verlag
Hauptbibliothek
| Verfügbar |
Freihand
Signatur: ZN 3750 F944
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Freihand
Signatur: ZN 3750 F944
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Freihand
Signatur: ZN 3750 F944
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