TY - BOOK TI - Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung T3 - GMM-Fachbericht AU - Hoffmann, Martin editor = {Hoffmann, Martin}, A2 - Hoffmann, Martin CY - Berlin PB - VDE Verlag GmbH PY - 2020 PY - 2020 LA - German LA - English KW - Konferenzschrift KW - 2020 KW - Online KW - CD-ROM KW - Mikrosystemtechnik KW - Nanotechnologie KW - DE-101 SN - 9783800753260 SN - 380075326X UR - https://www.katalog.fh-zwickau.de/Record/0-1736171542 ER -