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Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Hoffmann, Martin (HerausgeberIn), GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online (VerfasserIn), VDE Verlag (Verlag), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Herausgebendes Organ), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" (VeranstalterIn)
Titel: Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung/ Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Format: CD-ROM Konferenzbericht
Sprache: Deutsch, Englisch
veröffentlicht:
Berlin, Offenbach VDE Verlag GmbH [2020]
Gesamtaufnahme: Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97
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