|
|
|
|
LEADER |
05021cam a2201081 4500 |
001 |
0-1736171542 |
003 |
DE-627 |
005 |
20211116100917.0 |
007 |
cd uuu---uuuuu |
008 |
201021s2020 gw |||||q 00| ||ger c |
015 |
|
|
|a 20,N43
|2 dnb
|
015 |
|
|
|a 20,A49
|2 dnb
|
016 |
7 |
|
|a 1219458163
|2 DE-101
|
020 |
|
|
|a 9783800753260
|c : EUR 51.00 (DE), EUR 51.00 (AT)
|9 978-3-8007-5326-0
|
020 |
|
|
|a 380075326X
|9 3-8007-5326-X
|
024 |
3 |
|
|a 9783800753260
|
035 |
|
|
|a (DE-627)1736171542
|
035 |
|
|
|a (DE-599)DNB1219458163
|
035 |
|
|
|a (OCoLC)1225083886
|
035 |
|
|
|a (DE-101)1219458163
|
040 |
|
|
|a DE-627
|b ger
|c DE-627
|e rda
|
041 |
|
|
|a ger
|a eng
|
044 |
|
|
|c XA-DE-BE
|
082 |
0 |
|
|a 621
|q DE-101
|
082 |
0 |
|
|a 620.5
|q DE-101
|
082 |
0 |
4 |
|a 620
|a 621.3
|q DE-101
|
084 |
|
|
|a ZN 3750
|2 rvk
|0 (DE-625)rvk/157334:
|
084 |
|
|
|a 50.94
|2 bkl
|
084 |
|
|
|a 53.55
|2 bkl
|
111 |
2 |
|
|a GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration
|n 8.
|d 2020
|c Online
|j VerfasserIn
|0 (DE-588)1221761110
|0 (DE-627)1739159497
|4 aut
|
245 |
1 |
0 |
|a Mikro-Nano-Integration
|b Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung
|c Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
|
264 |
|
1 |
|a Berlin
|a Offenbach
|b VDE Verlag GmbH
|c [2020]
|
300 |
|
|
|a 1 CD-ROM
|c 12 cm
|
336 |
|
|
|a Text
|b txt
|2 rdacontent
|
337 |
|
|
|a Computermedien
|b c
|2 rdamedia
|
338 |
|
|
|a Computerdisk
|b cd
|2 rdacarrier
|
490 |
1 |
|
|a GMM-Fachbericht
|v 97
|
546 |
|
|
|a Text teilweise englische, teilweise deutsch
|
655 |
|
7 |
|a Konferenzschrift
|y 2020
|z Online
|0 (DE-588)1071861417
|0 (DE-627)826484824
|0 (DE-576)433375485
|2 gnd-content
|
655 |
|
7 |
|a CD-ROM
|0 (DE-588)4139307-7
|0 (DE-627)105636290
|0 (DE-576)209693312
|2 gnd-carrier
|
689 |
0 |
0 |
|D s
|0 (DE-588)4221617-5
|0 (DE-627)105008621
|0 (DE-576)210274557
|a Mikrosystemtechnik
|2 gnd
|
689 |
0 |
1 |
|D s
|0 (DE-588)4327470-5
|0 (DE-627)131523066
|0 (DE-576)211282081
|a Nanotechnologie
|2 gnd
|
689 |
0 |
|
|5 DE-101
|
700 |
1 |
|
|a Hoffmann, Martin
|d 1966-
|e HerausgeberIn
|0 (DE-588)132060930
|0 (DE-627)51746019X
|0 (DE-576)298922177
|4 edt
|
710 |
2 |
|
|a VDE Verlag
|e Verlag
|0 (DE-588)1049966309
|0 (DE-627)782966551
|0 (DE-576)403951569
|4 pbl
|
710 |
2 |
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
|e Herausgebendes Organ
|0 (DE-588)5182076-6
|0 (DE-627)215127862
|0 (DE-576)195820606
|4 isb
|
710 |
2 |
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
|b Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration"
|e VeranstalterIn
|0 (DE-588)1230830758
|0 (DE-627)1753180422
|4 orm
|
776 |
1 |
|
|z 9783800753277
|c E-Book
|
810 |
2 |
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
|t GMM-Fachbericht
|v 97
|9 97
|w (DE-627)635906473
|w (DE-576)422866911
|w (DE-600)2575614-X
|x 1432-3419
|
936 |
r |
v |
|a ZN 3750
|b Mikrosystemtechnik
|k Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik
|k Elektromechanik und Mikromechanik
|k Mikrosystemtechnik
|0 (DE-627)1271578379
|0 (DE-625)rvk/157334:
|0 (DE-576)201578379
|
936 |
b |
k |
|a 50.94
|j Mikrosystemtechnik
|j Nanotechnologie
|0 (DE-627)181570645
|
936 |
b |
k |
|a 53.55
|j Mikroelektronik
|0 (DE-627)10641853X
|
951 |
|
|
|a BO
|
020 |
|
|
|z 3800753278
|
983 |
|
|
|a (DE-Zwi2)500314816
|
975 |
|
|
|c B
|
852 |
|
|
|a DE-Zwi2
|z 2021-11-16T10:09:17Z
|x 2021-12-01
|
975 |
|
|
|o 206 590
|
910 |
|
|
|a VDE-Verlag
|
910 |
|
|
|a VDE VERLAG GMBH
|
910 |
|
|
|a GMM Fachusschuss 4.7 Mikro-Nano-Integration
|
910 |
|
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik
|
910 |
|
|
|a Fachausschuss 4.7
|
910 |
|
|
|a Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration"
|
910 |
|
|
|a Mikrosystemtechnik und Nanotechnologie
|
910 |
|
|
|a VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
|
910 |
|
|
|a Verein Deutscher Ingenieure
|
910 |
|
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
|
910 |
|
|
|a Verband Deutscher Elektrotechniker
|
910 |
|
|
|a Gesellschaft für Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
|
910 |
|
|
|a VDE/VDI-Gesellschaft für Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik
|
910 |
|
|
|a Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering
|
910 |
|
|
|a VDE/VDI-Society Microelectronics, Micro- and Precision Engineering
|
910 |
|
|
|a GMM
|
910 |
|
|
|a Verband der Elektrotechnik, Elektronik, Informationstechnik
|
910 |
|
|
|a VDE/VDI-GMM
|
910 |
|
|
|a Gesellschaft Mikroelektronik
|
910 |
|
|
|a VDI/VDE-Gesellschaft Mikro- und Feinwerktechnik
|
950 |
|
|
|a Submikrometertechnik
|
950 |
|
|
|a Submikron-Technologie
|
950 |
|
|
|a Nanotechnik
|
950 |
|
|
|a Nanostrukturtechnik
|
950 |
|
|
|a Mikromechanik
|
950 |
|
|
|a Nanowissenschaften
|
950 |
|
|
|a 纳米技术
|
950 |
|
|
|a 納米技術
|
950 |
|
|
|a Нанотехнология
|
950 |
|
|
|a Mikrotechnik
|
950 |
|
|
|a Feinwerktechnik
|
950 |
|
|
|a Fertigungssystem
|
950 |
|
|
|a Mikroelektronik
|
950 |
|
|
|a Mikrofertigung
|
980 |
|
|
|a 1736171542
|b 0
|k 1736171542
|
SOLR
_version_ |
1750402931058802688 |
access_facet |
Local Holdings |
author2 |
Hoffmann, Martin |
author2_role |
edt |
author2_variant |
m h mh |
author_corporate |
GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online, VDE Verlag, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" |
author_corporate_role |
aut, pbl, isb, orm |
author_facet |
Hoffmann, Martin, GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online, VDE Verlag, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" |
author_sort |
GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration Online |
barcode_dezwi2 |
00413489 |
branch_dezwi2 |
Hauptbibliothek |
callnumber-sort |
|
callnumber_dezwi2 |
ZN 3750 G569, 206 590 ZN 3750 G569 |
collcode_dezwi2 |
Medientrog |
ctrlnum |
(DE-627)1736171542, (DE-599)DNB1219458163, (OCoLC)1225083886, (DE-101)1219458163 |
dewey-full |
621, 620.5, 620, 621.3 |
dewey-hundreds |
600 - Technology |
dewey-ones |
621 - Applied physics, 620 - Engineering & allied operations |
dewey-raw |
621, 620.5, 620, 621.3 |
dewey-search |
621, 620.5, 620, 621.3 |
dewey-sort |
3621 |
dewey-tens |
620 - Engineering |
era_facet |
2020 |
facet_avail |
Local |
facet_local_del330 |
Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie |
finc_class_facet |
Technik |
fincclass_txtF_mv |
technology, engineering-electrical, engineering-process |
format |
CDROM, ConferenceProceedings |
format_de105 |
Ebook |
format_de14 |
Electronic Resource |
format_de15 |
Electronic Resource |
format_detail_txtF_mv |
text-localfile-monograph-independent |
format_dezi4 |
e-Book |
format_dezwi2 |
Book |
format_finc |
Software |
format_legacy |
ElectronicResource |
genre |
Konferenzschrift 2020 Online (DE-588)1071861417 (DE-627)826484824 (DE-576)433375485 gnd-content, CD-ROM (DE-588)4139307-7 (DE-627)105636290 (DE-576)209693312 gnd-carrier |
genre_facet |
Konferenzschrift, CD-ROM |
geogr_code |
not assigned |
geogr_code_person |
not assigned |
geographic_facet |
Online |
hierarchy_parent_id |
0-635906473 |
hierarchy_parent_title |
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht |
hierarchy_sequence |
97 |
hierarchy_top_id |
0-635906473 |
hierarchy_top_title |
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht |
id |
0-1736171542 |
illustrated |
Not Illustrated |
imprint |
Berlin, Offenbach, VDE Verlag GmbH, [2020] |
imprint_str_mv |
Berlin; Offenbach: VDE Verlag GmbH, [2020] |
institution |
DE-Zwi2 |
is_hierarchy_id |
0-1736171542 |
is_hierarchy_title |
Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung |
isbn |
9783800753260, 380075326X |
isbn_isn_mv |
9783800753277, 3800753278 |
isil_str_mv |
DE-Zwi2 |
issn_isn_mv |
1432-3419 |
kxp_id_str |
1736171542 |
language |
German, English |
last_indexed |
2022-11-24T18:25:17.528Z |
local_heading_facet_dezwi2 |
Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie |
marc024a_ct_mv |
9783800753260 |
match_str |
hoffmann2020mikronanointegrationbeitragedes8gmmworkshops1517092020onlineveranstaltung |
mega_collection |
Verbunddaten SWB |
multipart_link |
422866911 |
multipart_part |
(422866911)97 |
names_id_str_mv |
(DE-588)132060930, (DE-627)51746019X, (DE-576)298922177, (DE-588)1049966309, (DE-627)782966551, (DE-576)403951569, (DE-588)5182076-6, (DE-627)215127862, (DE-576)195820606, (DE-588)1230830758, (DE-627)1753180422 |
oclc_num |
1225083886 |
physical |
1 CD-ROM; 12 cm |
publishDate |
[2020] |
publishDateSort |
2020 |
publishPlace |
Berlin |
publisher |
VDE Verlag GmbH |
record_format |
marcfinc |
record_id |
1736171542 |
recordtype |
marcfinc |
rvk_facet |
ZN 3750 |
rvk_label |
Elektrotechnik, Elektronik, Nachrichtentechnik, Elektromechanik und Mikromechanik, Mikrosystemtechnik |
rvk_path |
ZN, ZN 3600 - ZN 3750, ZN 3750, ZG - ZS |
rvk_path_str_mv |
ZN, ZN 3600 - ZN 3750, ZN 3750, ZG - ZS |
series |
Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik, GMM-Fachbericht, 97 |
series2 |
GMM-Fachbericht ; 97 |
source_id |
0 |
spelling |
GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online VerfasserIn (DE-588)1221761110 (DE-627)1739159497 aut, Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum, Berlin Offenbach VDE Verlag GmbH [2020], 1 CD-ROM 12 cm, Text txt rdacontent, Computermedien c rdamedia, Computerdisk cd rdacarrier, GMM-Fachbericht 97, Text teilweise englische, teilweise deutsch, Konferenzschrift 2020 Online (DE-588)1071861417 (DE-627)826484824 (DE-576)433375485 gnd-content, CD-ROM (DE-588)4139307-7 (DE-627)105636290 (DE-576)209693312 gnd-carrier, s (DE-588)4221617-5 (DE-627)105008621 (DE-576)210274557 Mikrosystemtechnik gnd, s (DE-588)4327470-5 (DE-627)131523066 (DE-576)211282081 Nanotechnologie gnd, DE-101, Hoffmann, Martin 1966- HerausgeberIn (DE-588)132060930 (DE-627)51746019X (DE-576)298922177 edt, VDE Verlag Verlag (DE-588)1049966309 (DE-627)782966551 (DE-576)403951569 pbl, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik Herausgebendes Organ (DE-588)5182076-6 (DE-627)215127862 (DE-576)195820606 isb, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" VeranstalterIn (DE-588)1230830758 (DE-627)1753180422 orm, 9783800753277 E-Book, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik GMM-Fachbericht 97 97 (DE-627)635906473 (DE-576)422866911 (DE-600)2575614-X 1432-3419, DE-Zwi2 2021-11-16T10:09:17Z 2021-12-01 |
spellingShingle |
Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung, Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik, GMM-Fachbericht, 97, Konferenzschrift 2020 Online, CD-ROM, Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie |
title |
Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung |
title_auth |
Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung |
title_full |
Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum |
title_fullStr |
Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum |
title_full_unstemmed |
Mikro-Nano-Integration Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum |
title_in_hierarchy |
97. Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung ([2020]) |
title_short |
Mikro-Nano-Integration |
title_sort |
mikro nano integration beitrage des 8 gmm workshops 15 17 09 2020 online veranstaltung |
title_sub |
Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung |
topic |
Konferenzschrift 2020 Online, CD-ROM, Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie |
topic_facet |
Konferenzschrift, CD-ROM, Mikrosystemtechnik, Nanotechnologie |