Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung

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Personen und Körperschaften:	Hoffmann, Martin (HerausgeberIn), GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 8. 2020 Online (VerfasserIn), VDE Verlag (Verlag), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik (Herausgebendes Organ), Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik Fachausschuss "Mikro-Nano-Integration" (VeranstalterIn)
Titel:	Mikro-Nano-Integration: Beiträge des 8. GMM-Workshops, 15.-17.09.2020, Online-Veranstaltung/ Veranstalter: VDE/VDIVDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM), GMM-Fachausschuss 4.7 "Mikro-Nano-Integration" ; Tagungsleitung: Prof. Martin Hoffmann, Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik, Ruhr-Universität Bochum
Format:	CD-ROM Konferenzbericht
Sprache:	Deutsch, Englisch
veröffentlicht:	Berlin, Offenbach VDE Verlag GmbH [2020]
Gesamtaufnahme:	Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik: GMM-Fachbericht ; 97
Schlagwörter:	Konferenzschrift > 2020 > Online CD-ROM
Quelle:	Verbunddaten SWB
Anmerkungen:	Text teilweise englische, teilweise deutsch