Eintrag weiter verarbeiten

Hyperdoping Si with deep-level impurities by ion implantation and sub-second annealing

Gespeichert in:

Personen und Körperschaften: Liu, Fang (VerfasserIn), Helm, Manfred (AkademischeR BetreuerIn), Wendler, Elke (AkademischeR BetreuerIn), Technische Universität Dresden (Grad-verleihende Institution)
Titel: Hyperdoping Si with deep-level impurities by ion implantation and sub-second annealing/ Fang Liu
Hochschulschriftenvermerk: Dissertation, Technische Universität Dresden, 2018
Format: E-Book Hochschulschrift
Sprache: Englisch
veröffentlicht:
Dresden 2018
Schlagwörter:
Erscheint auch als: Liu, Fang, 1989 - , Hyperdoping si with deep-level impurities by ion implantation and sub-second annealing, Dresden : Technische Universität Dresden, 2018, viii, 91 Seiten
Quelle: Verbunddaten SWB
Lizenzfreie Online-Ressourcen