Eintrag weiter verarbeiten
Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
|---|---|
| Titel: | Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates/ Xiao Hu |
| Hochschulschriftenvermerk: | Dissertation, Technische Universität Chemnitz, 2017 |
| Format: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Englisch |
| veröffentlicht: |
Chemnitz
Universitätsverlag Chemnitz
2018
|
| Schlagwörter: | |
| Erscheint auch als: | Hu, Xiao, 1985 - , Multiscale simulation of metallic copper and copper oxide atomic layer deposition from Cu Beta-diketonates, [1. Auflage], Chemnitz : Universitätsverlag Chemnitz, 2018, 197 Seiten |
| Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |