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Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstums...
Gespeichert in:
| Personen und Körperschaften: | |
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| Titel: | Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstumsregimes/ Daniela Rogler |
| Hochschulschriftenvermerk: | Dresden, Techn. Univ., Fak. Maschinenwesen, Diss., 2012 |
| Format: | E-Book Hochschulschrift |
| Sprache: | Deutsch |
| veröffentlicht: |
2012
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| Schlagwörter: | |
| Druckausg.: | Rogler, Daniela, 1974 - , Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstumsregimes, 2012, 146, 12 S. |
| Quelle: | Verbunddaten SWB Lizenzfreie Online-Ressourcen |