MEMS NEMS handbook, 4 Sensors and actuators

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Titel:	MEMS NEMS handbook (4); Sensors and actuators/ ed. by Cornelius T. Leondes
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	New York, NY Springer 2006
Gesamtaufnahme:	MEMS NEMS handbook; 4
Quelle:	Verbunddaten SWB