MEMS NEMS handbook, 2 Fabrication techniques

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Titel:	MEMS NEMS handbook (2); Fabrication techniques/ ed. by Cornelius T. Leondes
Format:	Buch
Sprache:	Englisch
veröffentlicht:	New York, NY Springer 2006
Gesamtaufnahme:	MEMS NEMS handbook; 2
Quelle:	Verbunddaten SWB